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刘善群
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H指数:2
供职机构:
中国电子科技集团第二十六研究所
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电子电信
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电气工程
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合作作者
赵雪梅
中国电子科技集团第二十六研究所
喻卫兵
中国电子科技集团第二十六研究所
伍平
中国电子科技集团第二十六研究所
杜波
中国电子科技集团第二十六研究所
马晋毅
中国电子科技集团第二十六研究所
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伍平
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:声表面波器件 声表面波 静电 烧伤 声表面波滤波器
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杜波
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:薄膜体声波谐振器 声表面波 换能器 谐振 刻蚀工艺
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赵雪梅
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:声表面波器件 声表面波滤波器 静电 烧伤 声表面波
发表作品
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马晋毅
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:声表面波 薄膜体声波谐振器 声表面波滤波器 电极 体声波滤波器
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陆川
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:声表面波器件 声表面波滤波器 声表面波 换能器 键合
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喻卫兵
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:压电 晶圆 滤波器 谐振器 谐振滤波器
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刘晓莉
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:声表面波 声表面波滤波器 晶圆 声表面波器件 KOH
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江洪敏
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:声表面波 延迟线 薄膜体声波谐振器 压电薄膜 气体传感器
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李洪平
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:声表面波器件 换能器 压电薄膜 声速 声表面波滤波器
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张永川
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:ALN薄膜 压电薄膜 薄膜体声波谐振器 FBAR 机电耦合系数
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