2024年11月28日
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周萍
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中国科学院
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相关领域:
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合作作者
马铁英
中国科学院研究生院
刘文平
中国科学院研究生院
王跃林
中国科学院
李铁
中国科学院
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马铁英
供职机构:中国计量学院光学与电子科技学院
研究主题:退火 电阻温度系数 非晶硅 掺磷 各向异性
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供职机构
所获资助
研究领域
刘文平
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 传感器件 干法刻蚀技术 电阻温度系数 退火
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
李铁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
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相关人物
供职机构
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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