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李海龙

作品数：3 被引量：9H指数：2
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文基金：国家中长期科技发展规划重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 8个电子电信
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  • 3个理学
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主题

  • 7个铜布线
  • 7个抛光
  • 7个抛光液
  • 7个平坦化
  • 7个阻挡层
  • 7个化学机械抛光
  • 7个化学机械平坦...
  • 7个机械抛光
  • 6个碟形
  • 6个多胺
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  • 6个螯合剂
  • 6个稳定性
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  • 6个络合剂
  • 6个碱性抛光液
  • 5个单因素
  • 5个转速

机构

  • 8个河北工业大学
  • 1个河北工学院
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民政治...

资助

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  • 7个河北省自然科...
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传媒

  • 8个微纳电子技术
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  • 1个电镀与精饰
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  • 1个半导体情报
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  • 1个电子工艺技术
  • 1个粘接

地区

  • 7个天津市
  • 1个河北省
共 8 条 记 录，以下是 1-8
王辰伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张宏远
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 抛光速率 HCL 钽 盐酸胍
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈蕊
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 铜布线 抛光液 化学机械抛光 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹阳
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械平坦化 碟形 铜布线 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高娇娇
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 化学机械抛光 碱性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹哲
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：PH值 碱性抛光液 稳定性 螯合剂 速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蔡婷
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP TSV 化学机械平坦化 多胺 络合剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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