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张小丽

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  • 2个机械工程
  • 2个电子电信
  • 2个自动化与计算...
  • 2个理学
  • 1个电气工程
  • 1个一般工业技术
  • 1个文化科学

主题

  • 2个单晶
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传媒

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地区

  • 2个浙江省
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刘琛
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司
研究主题：MEMS器件 外延层 发射区 介质层 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
季锋
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司
研究主题：空腔 牺牲层 MEMS器件 半导体 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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