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张少峰
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室
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发文基金:
中国航空科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李阳平
西北工业大学材料学院凝固技术国...
刘正堂
西北工业大学材料学院凝固技术国...
陈海波
西北工业大学材料学院凝固技术国...
徐启远
西北工业大学材料学院凝固技术国...
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李阳平
供职机构:西北工业大学
研究主题:反应离子刻蚀 射频磁控溅射 衬底 亚波长结构 计算机模拟
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供职机构
所获资助
研究领域
刘正堂
供职机构:西北工业大学材料学院
研究主题:电子结构 第一性原理 第一性原理计算 射频磁控溅射 光学性质
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
陈海波
供职机构:西北工业大学材料学院
研究主题:亚波长结构 反应离子刻蚀 光刻 石英 刻蚀速率
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
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徐启远
供职机构:清华大学研究院
研究主题:反应离子刻蚀 ZNS 穿孔 集流 衬底
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相关人物
供职机构
所获资助
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