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张铁军

作品数：15 被引量：4H指数：2
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
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共 23 条 记 录，以下是 1-10
邱传凯
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：变形镜 微透镜列阵 掩模 微透镜阵列 光学系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗先刚
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
岳衢
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：绝缘硅 湿法腐蚀 微透镜阵列 干法刻蚀 长焦
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚军
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：变形镜 静电驱动 微机电系统 MEMS 光纤
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：太赫兹 透射特性 变形镜 大行程 硅基底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪为民
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：变形镜 MEMS 微机电系统 静电驱动 太赫兹
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡承刚
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：湿法腐蚀 光刻 压模 表面等离子体 衍射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
潘丽
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：掩模 湿法腐蚀 微透镜列阵 微透镜阵列 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李飞
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：金属纳米 湿法腐蚀 绝缘硅 阵列结构 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
方亮
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：视场 掩模 棱镜 微开关 光程差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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