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王敏杰
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中电集团
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王长发
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王长发
供职机构:中电集团
研究主题:分子泵 净化过程 英文
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殷履文
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:光刻机 大鼓 磁控溅射 传感器 靶材
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吴璟
供职机构:中电集团
研究主题:分子泵 净化过程 英文
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