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吴璟

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中电集团更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇英文
  • 1篇净化过程
  • 1篇分子泵

机构

  • 1篇中电集团

作者

  • 1篇殷履文
  • 1篇吴璟
  • 1篇王敏杰
  • 1篇王长发

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
SB6键合机工艺腔净化过程的软件改进(英文)
2007年
分子泵是高真空系统的核心部件,通过对SB6键合机真空系统和分子泵特性的分析,总结讨论了3个可能导致分子泵损坏的键合工艺过程,最后,提出对工艺腔净化过程的一个软件改进办法,这个改进的思路对从事半导体设备维修的专业人员而言是有一定帮助的。
王敏杰吴璟殷履文王长发
关键词：分子泵
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