2024年11月27日
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黎晓林
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5
被引量:8
H指数:2
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
国家自然科学基金
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电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
车录锋
中国科学院上海微系统与信息技术...
吴健
中国科学院上海微系统与信息技术...
周晓峰
中国科学院研究生院
蔡梅妮
中国科学院研究生院
林友玲
中国科学院上海微系统与信息技术...
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车录锋
供职机构:浙江大学
研究主题:弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
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周晓峰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:弹性梁 电容式加速度传感器 加速度传感器 侧向冲击 过载
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吴健
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题:加速度计 高Q值 Σ-Δ调制 现场可编程门阵列 微加速度计
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林友玲
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:电容式加速度传感器 加速度传感器 弹性梁 三明治 大尺寸
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蔡梅妮
供职机构:中国科学院研究生院
研究主题:三明治 MEMS加速度传感器 加速度传感器 划片 品质因数
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李刚
供职机构:重庆理工大学
研究主题:微管道 微流控芯片 微电极阵列 芯片 牺牲层
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孙腾
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:汗液 穿戴 贴片 高Q值 加速度计
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李洋
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题:Σ-Δ调制 现场可编程门阵列 微加速度计 数字电路
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苏荣涛
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:加速度传感器 焊盘 寄生电容 寄生 微加速度传感器
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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