周晓峰
- 作品数：29 被引量：9H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信生物学理学更多>>
- 双面平行对称硅梁质量块结构及其制备方法
- 本发明提供了一种双面平行对称梁质量块结构及其制备方法，属于微电子机械系统领域，该方法通过利用双面正反对准光刻工艺在双抛(100)硅片上形成双面平行对称梁质量块图形区域，然后进行干法刻蚀和湿法各向异性刻蚀，悬臂梁的（111...
- 车录锋周晓峰熊斌林友玲王跃林
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- 弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法
- 本发明提供一种弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法。该传感器至少包括：第一电极结构层、中间结构层及第二电极结构层；其中，第一电极结构层与第二电极结构层分别设置有电极引出通孔；所述中间结构层包括：基于具有双器件层的含...
- 车录锋周晓峰王跃林
- 变面积型电容式横向加速度传感器及制备方法
- 本发明提供一种变面积型电容式横向加速度传感器及制备方法。该加速度传感器至少包括：由相互电性隔离的第一基底、第二基底及第三基底键合成的三层层叠结构，其中，第二基底包括可动质量块、围绕可动质量块的边框、连接可动质量块及边框的...
- 车录锋周晓峰陶若杰王跃林
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- 单硅片双面对称折叠梁结构微加速度传感器及其制作方法
- 本发明提供一种单硅片双面对称折叠梁结构微加速度传感器及其制作方法，其中，制作方法至少包括如下步骤：提供一上硅片、一下硅片，分别制作上电极盖板和下电极盖板；提供一中间硅片，于所述中间硅片的上表面和下表面预先形成未释放的折叠...
- 李伟周晓峰车录锋
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- “H”形梁的电容式加速度传感器及制备方法
- 本发明提供一种“H”形梁的电容式加速度传感器及制备方法。该传感器至少包括：第一电极结构层、中间结构层及第二电极结构层；其中，第一电极结构层与第二电极结构层分别设置有电极引出通孔；所述中间结构层包括：形成在具有双器件层的含...
- 车录锋周晓峰熊斌王跃林
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- 基于液滴移动发电的微型能量采集电极装置及制备方法
- 本发明涉及一种基于液滴移动发电的微型能量采集电极装置及制备方法，所述液滴移动发电的微型能量采集电极装置，自下而上包括衬底基片、电极层、电介质层和疏水层。能量采集电极装置中疏水层一侧为液滴移动通道，且另一侧与电介质接触。电...
- 周晓峰刘超然车录锋
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- 贴片工艺对微加速度传感器CV特性的影响被引量：2
- 2017年
- 针对设计制作的硅三明治MEMS电容式加速度传感器,利用COMSOL软件建立了封装结构有限元模型,仿真分析了贴片工艺对传感器芯片变形的影响。通过对贴片前后传感器CV特性曲线的测试,发现贴片后传感器在测量CV特性曲线时中间质量块会经历平动和转动的过程,曲线会出现明显拐点,提出了利用CV特性曲线计算贴片后传感器敏感质量块偏移大小和扭转角度的方法,通过该方法计算的结果与有限元仿真结果相符。
- 朱瑞丰周晓峰高守玮车录锋
- 关键词：加速度传感器贴片工艺有限元仿真
- 一种电容间隙精确可控的高对称加速度传感器被引量：2
- 2009年
- 提出了一种高对称电容式微加速度传感器,该传感器为硅四层键合三明治结构,在完成传感器整体结构制作的同时,实现了圆片级真空封装。利用多次氧化的方法,既精确控制了加速度传感器的初始电容间距,又实现了限位凸点的制作。该加速度传感器的谐振频率为657Hz,品质因子为198,灵敏度为0.59V/g。
- 毛健车录锋林友玲李玉芳周晓峰熊斌王跃林
- 关键词：电容式加速度传感器
- 硅基高通量单细胞阵列芯片制备与研究
- 2017年
- 采用微机电系统(MEMS)技术结合金属辅助化学腐蚀工艺制作出关键结构为纳米氧化硅的阵列芯片,细胞可以定点黏附在纳米氧化硅上。通过实验计算和分析得知,在0.7~23μm内,纳米线长度约为3μm时深宽比适宜,有利于黏附蛋白充分铺展,黏附效率达到最高85%。改变培养时间(5~480 min)和细胞浓度(0.5~4.0),发现培养时间在不低于4 h,细胞浓度在1.5时,由于伪足充分缠绕于纳米线上,阵列饱和度达到最高83%。实验结果表明:制作出的单细胞阵列芯片具有较高的黏附效率和阵列饱和度,达到了高通量的标准。
- 孟祥周晓峰车录锋
- 关键词：微机电系统技术
- 一种微纳结构薄膜的制备方法及应用
- 本发明提供一种微纳结构薄膜的制备方法及应用，采用喷枪喷涂方式制备获得所述微纳结构薄膜，该方法为气压式雾化喷涂或者静电喷涂的方式，将待喷涂材料的预聚液均匀喷涂覆盖于基底一侧，再通过一定时间的加热固化后，涂覆有材料的一侧会形...
- 周晓峰向成豪刘超然车录锋
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