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陈景

作品数：5 被引量：28H指数：4
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金天津市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺一般工业技术更多>>

合作作者

领域

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主题

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  • 5个机械抛光
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机构

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  • 1个中国电子科技...
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资助

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传媒

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  • 1个电子工艺技术
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  • 1个精密制造与自...
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  • 1个润滑与密封
  • 1个表面技术

地区

  • 4个天津市
  • 1个河北省
共 5 条 记 录，以下是 1-5
王立发
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 粗糙度 T/R组件 硬盘基板
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武亚红
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP 粗糙度 抛光液 SIO2
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马振国
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP 蓝宝石衬底 粗糙度 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王晓云
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 镁合金 抛光液 抛光速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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