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马伟

作品数：1 被引量：17H指数：1
供职机构：哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院超精密光电仪器工程研究所更多>>
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  • 3个黑龙江省
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陈兴林
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：光刻机 工件台 神经网络 物理仿真 微分对策
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘川
供职机构：哈尔滨工业大学航天学院
研究主题：工件台 光刻机 直线电机 高动态 自抗扰
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱非甲
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：高动态 光刻机 工件台 自抗扰 前馈补偿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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