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朱非甲

作品数:2 被引量:17H指数:1
供职机构:哈尔滨工业大学更多>>
发文基金:国家科技重大专项更多>>
相关领域:自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电机
  • 1篇直线电机
  • 1篇设计信息
  • 1篇识别技术
  • 1篇特征提取
  • 1篇图像
  • 1篇图像特征
  • 1篇前馈
  • 1篇前馈补偿
  • 1篇自抗扰
  • 1篇先验
  • 1篇先验信息
  • 1篇向量
  • 1篇向量机
  • 1篇模式识别
  • 1篇模式识别技术
  • 1篇工件台
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻机
  • 1篇高动态

机构

  • 2篇哈尔滨工业大...

作者

  • 2篇朱非甲
  • 1篇谭久彬
  • 1篇陈兴林
  • 1篇林杰
  • 1篇金鹏
  • 1篇刘川
  • 1篇马伟

传媒

  • 1篇电机与控制学...

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2013
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
直线电机的线性自抗扰控制被引量:17
2013年
光刻机的工件台是高动态精密伺服运动平台,它要求在系统高速运动的同时,采用长行程直线电机宏动跟随音圈电机高精密微动的驱动方式,实现系统纳米级的精确定位及跟踪。为减小微动电机的运动范围和加速度,必须提高直线电机的跟踪精度。针对该系统的直线电机模型设计了一种线性自抗扰控制方法,该方法的控制器首先通过扩张状态观测器观测系统的动态变化,补偿系统中的各种扰动,再运用前馈对系统的跟踪误差进行补偿,减小系统的动态跟踪误差。在此复合控制方式下,控制器实现了自抗扰控制,前馈控制器很好的补偿了误差,从而提高了系统的抗干扰和跟踪性能。实验表明,该方法与传统的控制方法相比,改善了系统的动态性能和抗干扰能力。
刘川朱非甲马伟陈兴林
关键词:光刻机工件台直线电机前馈补偿
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一种检测与识别金属网栅缺陷的方法属于模式识别技术领域;该方法首先得到金属网栅设计信息,再基于先验信息进行缺陷模拟,得到多组缺陷图样,然后提取缺陷图样的图像特征,建立缺陷特征库,训练支持向量机,得到金属网栅的缺陷分类器;对...
金鹏朱非甲林杰谭久彬
文献传递
共1页<1>
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