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马培圣
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供职机构:
中国电子科技集团第十三研究所
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电子电信
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化学工程
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合作作者
郝晓亮
中国电子科技集团第十三研究所
王秀海
中国电子科技集团第十三研究所
赵英伟
中国电子科技集团第十三研究所
曹健
中国电子科技集团第十三研究所
吴爱华
中国电子科技集团第十三研究所
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郝晓亮
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:等离子 半导体设备 真空 承片台 波纹管
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王秀海
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:电子枪 温度测量 电子束 承片台 波纹管
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所获资助
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赵英伟
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:设备维修 存储介质 参数辨识 晶圆 漏液
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曹健
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:校准 测试夹具 散射参数 串扰 S参数
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吴爱华
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:校准 S参数 校准方法 终端设备 计量学
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张文雅
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:投影光刻机 坩埚 氧化硼 半导体晶体 化合物
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栾鹏
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:校准 终端设备 S参数 矢量网络分析仪 传输线
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刘晨
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:校准 S参数 校准方法 终端设备 串扰
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申承志
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:真空 半导体设备 检漏 真空泵 报错
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王一帮
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:校准 终端设备 S参数 传输线 校准方法
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