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何青

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王玮冰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：MEMS 自测试 压阻传感器 压阻 红外光源
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李佳
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：自测试 压阻传感器 自校准 压阻 发热电阻
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侯影
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 二极管 读出电路 微弱信号
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙业超
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：压阻 压力传感器 承压 SIC 边线
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