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孙业超

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇中文专利

主题

  • 5篇压力传感器
  • 5篇压阻
  • 5篇力传感器
  • 5篇感器
  • 5篇传感
  • 5篇传感器
  • 2篇电路
  • 2篇读出电路
  • 2篇信号
  • 2篇斩波
  • 2篇斩波器
  • 2篇弱信号
  • 2篇失调电压
  • 2篇输入端
  • 2篇微弱信号
  • 2篇膜片
  • 2篇边线
  • 2篇SIC
  • 2篇承压
  • 1篇电压

机构

  • 7篇中国科学院微...

作者

  • 7篇孙业超
  • 5篇尚海平
  • 5篇王英辉
  • 4篇王玮冰
  • 2篇侯影
  • 2篇何青
  • 2篇李佳

年份

  • 1篇2021
  • 4篇2020
  • 1篇2018
  • 1篇2016
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
一种SiC压力传感器
本发明公开了一种SiC压力传感器，本发明技术方案所述SiC压力传感器中，一方面，将压阻条设置在第二区域内，可以与现有SiC压力传感器一样使得压阻条位于承压膜片对应压力腔的开口边线附近区域，实现输出电压的最大化，另一方，设...
尚海平孙业超王英辉王玮冰
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一种压力传感器
本发明公开了一种压力传感器，设置有与敏感膜片相接触的至少两组压阻条组，其中每个压阻条组均包括有四个压阻条。上述压阻条均可以通过引线与基板表面的引线电极电连接，从而使得每一个压阻条组均可以构成一个惠斯通电桥。在压力传感器中...
孙业超尚海平王英辉
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一种SiC压力传感器
本发明公开了一种SiC压力传感器，本发明技术方案所述SiC压力传感器中，一方面，将压阻条设置在第二区域内，可以与现有SiC压力传感器一样使得压阻条位于承压膜片对应压力腔的开口边线附近区域，实现输出电压的最大化，另一方，设...
尚海平孙业超王英辉王玮冰
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一种压力传感器
本发明公开了一种压力传感器，包括圆形的敏感膜片，以及与敏感膜片相接触的四个压阻条，该四个压阻条均位于敏感膜片的边缘区域；其中边缘区域为压力传感器中应力不小于应力峰值的90％所对应的区域。由于敏感膜片呈圆形，使得敏感膜片的...
孙业超尚海平王英辉
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一种微弱信号读出电路
本发明实施例公开了一种微弱信号读出电路包括：斩波放大电路；斩波放大电路，包括：第一斩波器、第二斩波器、第三斩波器、第四斩波器和第一运算放大器；第一斩波器的输入端连接微弱信号，第一斩波器的输出端经第二斩波器连接第一运算放大...
何青王玮冰李佳侯影孙业超
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一种微弱信号读出电路
本发明实施例公开了一种微弱信号读出电路包括：斩波放大电路；斩波放大电路，包括：第一斩波器、第二斩波器、第三斩波器、第四斩波器和第一运算放大器；第一斩波器的输入端连接微弱信号，第一斩波器的输出端经第二斩波器连接第一运算放大...
何青王玮冰李佳侯影孙业超
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一种压力传感器
本发明公开了一种压力传感器，包括与敏感膜片相接触的两组压阻条组，其中，任一压阻条组包括分别为横向压阻和纵向压阻两个压阻条，任一压阻条组中相邻压阻条之间的距离均不大于15μm。将全部压阻条组中的压阻条之间的间距限制在不大于...
孙业超尚海平王英辉
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