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孙涛
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2
被引量:4
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供职机构:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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李强
中国电子科技集团公司第四十六研...
张伟才
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李强
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:硫化镉 CDS 单晶 CMP AFM
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张伟才
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光片 化学机械抛光 机械强度 IPA
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