2024年11月23日
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黄义
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清华大学研究院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
潘国顺
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
雷红
上海大学
雒建斌
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
路新春
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
王亮亮
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
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雷红
供职机构:上海大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 抛光 磨粒 组合物
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路新春
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
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雒建斌
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
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相关人物
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所获资助
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潘国顺
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
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王亮亮
供职机构:清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室
研究主题:表面形貌 化学机械抛光 磁头 硅片 单晶硅片
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