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刘杰

作品数：61 被引量：34H指数：3
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李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
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夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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汪明刚
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体 等离子体浸没离子注入 离子注入 离子 浸没
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李勇滔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
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刘邦武
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：SUB 等离子喷涂 陶瓷涂层 等离子体喷涂 等离子体浸没离子注入
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陈瑶
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：离子注入 注入机 特性参数 离子 半导体
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赵丽莉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 离子注入 菲涅耳波带片 注入机 特性参数
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屈芙蓉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 前驱体 PIII 薄膜封装 腔体
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罗小晨
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：离子注入 等离子体 等离子体浸没离子注入 等离子喷涂 离子
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刘键
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 ALGAN/GAN ALGAN/GAN_HEMT 氮化碳薄膜 氮化碳
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