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刘志响
作品数:
3
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H指数:1
供职机构:
河南科技学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
张竹青
河南科技学院
苏建修
河南科技学院机电学院
马利杰
河南科技学院
姚建国
河南科技学院
付素芳
河南科技学院
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张竹青
供职机构:河南工业大学
研究主题:材料去除率 化学机械抛光 研磨盘 化学机械研磨 金属基
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苏建修
供职机构:河南科技学院
研究主题:化学机械抛光 材料去除率 捕集装置 抛光辊 滚切
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郑秋白
供职机构:河南科技学院
研究主题:研磨盘 化学机械研磨 金属基 结合剂 接层
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付素芳
供职机构:河南科技学院
研究主题:研抛 表面粗糙度 化学机械抛光 动力学 模型修正
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马利杰
供职机构:河南科技学院
研究主题:化学机械抛光 振动攻丝 研抛 表面粗糙度 振动钻削
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庞子瑞
供职机构:河南科技学院
研究主题:衬底 超薄 化学机械抛光 后驱动 抛光机
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姚建国
供职机构:河南科技学院
研究主题:化学机械抛光 抛光辊 辅助剂 ROLL-TO-ROLL 研抛
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张学铭
供职机构:河南科技学院机电学院
研究主题:材料去除率 表面粗糙度 SIC 平面度 材料去除机理
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刘幸龙
供职机构:河南科技学院
研究主题:单晶片 材料去除率 4H-SIC 研磨膏 辅助剂
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