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廖志远

作品数：76 被引量：128H指数：7
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
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共 64 条 记 录，以下是 1-10
白瑜
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光学设计 数值孔径 光焦度 大数值孔径 红外光学系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢廷文
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：面形 数值孔径 光刻 光焦度 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱红伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：数值孔径 大数值孔径 光焦度 成像质量 像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓超
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：数值孔径 大数值孔径 光焦度 成像质量 像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林妩媚
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影物镜 光刻 照明系统 光焦度 像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吕保斌
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光焦度 大数值孔径 数值孔径 成像质量 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
廖胜
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光学系统 点目标 红外系统 反射镜 定标
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
范真节
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：偏振 光刻技术 波片 视场 光学系统设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程欣
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：视场 选通 成像系统 光栅衍射 棱镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘志祥
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：波像差 投影物镜 光学系统 大数值孔径 像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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