邢廷文
- 作品数：251 被引量：420H指数：12
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信理学自动化与计算机技术更多>>
- 一种激光准直扩束系统
- 本发明提供一种激光准直扩束系统，解决了高NA光刻技术中激光光束在不同传输距离时，光束口径和发散角不能满足使用需求的问题。所述激光准直扩束系统由一块球面镜和两块柱面镜组成，其中两块柱面镜光焦度分别为y方向和x方向，球面镜分...
- 范真节邢廷文林妩媚廖志杰张海波
- 文献传递
- 极紫外投影光刻物镜设计被引量：7
- 2009年
- 极紫外投影光刻用14 nm波长的电磁辐射,可以在实现高分辨率的同时保持相对较大的焦深,有希望成为制造超大规模集成电路的下一代光刻技术。极紫外投影光刻工作于步进扫描方式,采用全反射、无遮拦、缩小的环形视场投影系统。无遮拦投影系统的初始结构设计困难且重要。介绍了一种近轴搜索方法,该方法引入了像方远心、物方准远心、固定放大率、Petzval条件和物像共轭关系等约束,通过计算确定第一面反射镜、最后一面反射镜、光阑所在反射镜的曲率,以及物距和像距。编写了近轴搜索程序,搜索出初始结构。从初始结构出发,优化得到两套物镜,一套由四反射镜组成的系统,数值孔径0.1,像方视场26 mm×1 mm,畸变10 nm,分辨率优于6000 cycle/mm。一套系统由六反射镜组成,数值孔径0.25,像方视场26 mm×1 mm,畸变3 nm,分辨率优于18 000 cycle/mm。
- 杨雄邢廷文
- 关键词：光学设计物镜光刻极紫外
- 一种大视场高数值孔径全球面光刻机投影物镜
- 本发明公开了一种大视场高数值孔径全球面光刻机投影物镜，其像方有效视场为132×132mm，像方数值孔径可达0.17。物镜采用物方、像方双远心结构，共使用了21片透镜，所有透镜表面都为纯球面。本发明以对称、简单的结构实现所...
- 邓超邢廷文朱咸昌
- 文献传递
- 一种光学变形镜系统
- 本发明涉及一种光学变形镜系统，该变形镜系统包括框架(1)，变形镜(2)，转接头(3)，夹紧螺钉(4)，缩减机构(5)，隔架(6)，调节螺套(7)，紧固螺钉(8)，锁紧螺母(9)和压板(10)。发明光学变形镜系统通过与缩减...
- 王安定邢廷文
- 文献传递
- 一种光强分布的建模方法、装置、电子设备及存储介质
- 本发明公开了一种光强分布的的建模方法，应用于光刻照明均匀性补偿技术领域，包括：获取输入参数，输入参数包括视场面的输入光强分布和补偿平面的光瞳能量分布，根据视场面的输入光强分布和补偿平面的光瞳能量分布，确定补偿平面的光强分...
- 何毅林妩媚廖志杰刘卫静邢廷文
- 文献传递
- 一种测量杂散光的方法和系统
- 本发明提供一种测量杂散光的方法，其包括步骤如下：步骤S1：对位移平台初始化，步骤S2：设置测量系统的测量参数，步骤S3：驱动电机带动位移平台对照明光场区域进行扫描，利用点能量探测器对掩模面或硅片面上的一测试点进行光能量探...
- 范真节邢廷文林妩媚黄智强
- 文献传递
- 一种带有运动坐标反馈的子孔径拼接面形检测装置
- 本发明是一种带有运动坐标反馈的子孔径拼接面形检测装置，将待测镜放置在二维平移台上，计算机控制二维平移台使待测镜在平面上进行二维运动，待测镜两个侧面放置反射镜，同时反射镜对面放置测长干涉仪系统，测长干涉仪系统通过五路激光，...
- 贾辛徐富超谢伟民邢廷文
- 铝镜消应力支撑及SPDT辅助装配设计被引量：5
- 2014年
- 单点金刚石车削(SPDT)技术的发展为铝镜的批量化生产和应用奠定了工艺和技术基础。为减小安装预紧力、安装面不平引起的镜面变形从而保证光学像质,总结了典型的铝镜消应力支撑结构形式及设计原则。SPDT技术为光学辅助装配开辟了新的技术途径,分别针对单侧单镜、双侧单镜及分离双镜的情况进行了SPDT辅助装配设计的说明,结合实例阐述了光学面、结构安装面、基准传递面、干涉检测参考基准面的集成式SPDT加工实现高精度装配基准传递保证反射面之间高对准精度的流程,该方法可提高光学系统装配效率,缩短产品研制周期。
- 龙波邢廷文廖胜
- 一种紫外级熔石英材料内羟基含量测量装置和方法
- 本发明公开了一种紫外级熔石英材料内羟基含量测量装置和方法，紫外级熔石英材料在深紫外激光照射下激发荧光，而荧光的强度与羟基含量有密切关系，利用该特性实现紫外级熔石英材料内羟基含量的测量，该装置结构简单，成本低，而且是非接触...
- 刘卫静李斌诚邢廷文林妩媚
- 文献传递
- 一种精密夹具
- 本发明涉及一种精密夹具，该夹具包括基准盘，回转盘，卡爪，卡爪调节机构，周向定位装置。所述基准盘固定于加工设备上，回转盘绕基准盘中心转动，卡爪安装于回转盘上，并可以通过卡爪调节机构调节卡爪与基准盘的径向相对位置，周向定位装...
- 王安定邢廷文
