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卢歆

作品数:5 被引量:12H指数:2
供职机构:上海交通大学更多>>
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相关领域:自动化与计算机技术一般工业技术机械工程更多>>

领域

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地区

  • 10个上海市
  • 1个浙江省
11 条 记 录,以下是 1-10
李源
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:纳米测量机 MEMS 微机电系统 纳米 校准
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何明轩
供职机构:上海交通大学
研究主题:MEMS 校准 微机电系统 电容式 差分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪红
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
凌行
供职机构:上海交通大学
研究主题:金刚石薄膜 介电性能 高灵敏度 可变电容 微加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王丽华
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:三维高精度 传感 触觉传感器 测头 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李东升
供职机构:中国计量大学
研究主题:节流器 气体静压 气膜 传感器 植物叶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雷李华
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:光栅 纳米 校准 计量学 膜厚
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴俊杰
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:电容传感器 纳米测量机 白光干涉 接触式测头 共聚焦显微镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
傅云霞
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:激光跟踪仪 光栅 纳米 测头 校准
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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