李源
- 作品数：99 被引量：148H指数：7
- 供职机构：上海交通大学机械与动力工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金天津市自然科学基金上海市科委纳米专项基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信一般工业技术更多>>
- 纳米台阶标准样板的制备和表征被引量：13
- 2011年
- 介绍了纳米标准样板在纳米量值溯源体系中的重要作用和制备纳米标准样板的基本要求,设计了适用于多用途的标准值为100nm纳米台阶标准样板的特征结构和制备工艺流程,阐述了纳米测量装置的工作原理以及原子力测头(AFM)、激光聚焦式测头(LFS)、扫描白光干涉测头(SWLIS)的参数指标和适用范围。分别利用纳米测量机(NMM)的多种测头对纳米标准样板进行表征,对SIMT100纳米标准样板A区域开展重复性实验、区域均匀性实验和长时间稳定性实验。结果表明,设计与制备的SIMT100纳米标准样板A区域的高度值具有较好的量值传递特性。台阶标准片的测量重复性、区域均匀性和稳定性的标准偏差均小于1nm。
- 雷李华邹子英李源王丽华李东升
- 一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置
- 本实用新型涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置，在利用本实用新型的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时，开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象...
- 吴俊杰李源王阳傅云霞蔡潇雨魏佳斯周勇孙恺欣
- 文献传递
- 基于GPS的交通应用脆弱性检测系统及其方法
- 一种基于GPS的交通应用脆弱性检测系统及其方法，包括：预处理模块、卫星数据融合模块和导航场景数据融合模块脆弱性评价模块，预处理模块根据选取的脆弱性评估指标对采集到的导航场景数据预处理，得到评估指标变化曲线和评估指标特征值...
- 战兴群梅浩荆帅刘宝玉刘金玉李源
- 文献传递
- 利用碳纳米管探针进行纳米加工的研究进展
- 碳纳米管具有小的半径、高的长径比、高的弹性模量和弯曲强度和导电特性,这使得它很适合做原子力显微镜探针进行高分辨率测试和纳米级加工,并使加工的纳米点、线和复杂图形在加工过程中保持比较一致的形状和高的纵横比。文中提出了一套制...
- 胡小鹏刘庆纲匡登峰李源胡小唐
- 关键词：碳纳米管
- 文献传递
- 水下传感器网络中基于博弈论的能量均衡路由协议的研究
- 近些年来，随着世界各国对海洋权益重视度的不断提高，水下传感器网络也逐渐成为了科研领域的研究热点。和传统的陆地传感器网络相比，水下传感器网络有许多不同之处。水下传感器网络的节点不是固定的，它会随着水流漂浮。由于无线电波在水...
- 李源
- 关键词：水下传感器网络博弈论能量均衡路由协议吞吐量
- 文献传递
- 基于纳米测量机的微结构三维坐标测量被引量：7
- 2020年
- 针对当前微纳米测量中存在的微结构跨尺度、高精度测量及高深宽比结构多参数表征问题,基于纳米测量机和微接触测头构建了纳米坐标测量系统。通过对测头与定位平台机械、电气及软件接口的设计,实现测头与平台的集成,并利用标准球对测量系统进行校准。为保证测量结果的可溯源性,对定位平台三轴激光干涉仪的激光器进行了拍频。最后,利用搭建的测量系统对高度10μm,2 mm的超高台阶及硅臂卡爪的侧壁倾角进行了测量,表明系统具备大尺寸结构的高精度测量和复杂MEMS器件特征尺寸的精确表征能力。
- 吴俊杰李源
- 关键词：纳米测量机高深宽比
- 一种用于微纳米几何量测量的阵列式测头
- 本实用新型为一种用于微纳米几何量测量的阵列式测头，由网格状多方孔基座和多个测头组件构成。测头组件包括测头、测杆、悬挂结构、传感单元和电路板，测头组件垂直凸出安装在基座方孔上，方孔在基座上呈网格状阵列式排列，阵列式测头通过...
- 王丽华李源吴俊杰雷李华范国芳蔡潇雨毛辰飞
- 文献传递
- 可循迹纳米台阶标准样版的制备与表征被引量：6
- 2017年
- 介绍了纳米几何量量值传递中纳米标准样版的计量与溯源特性。分析了微纳米测量仪器在纳米标准样版几何参量校准中对标准样版循迹结构的具体需求。设计了标准值为60 nm,具有可循迹结构的纳米台阶标准样版。为了实现高精度、溯源性表征,基于计量型纳米测量仪(NMM),结合多种定位测量方法,对加工的纳米台阶标准样版进行测量与评价,并对其开展区域均匀性和长时间稳定性实验。实验结果表明,制备的台阶标准样版高度值与设计值基本一致,设计的循迹结构能有效地协助电荷耦合器件(CCD)实现快速循迹与定位,且采用溅射镀膜工艺优化了标准样版表面结构的特性,使多种定位测量方法的测量重复性标准偏差均小于1 nm。
- 曲金成雷李华雷李华李锁印蔡潇雨魏佳斯赵军韩志国
- 关键词：刻蚀工艺
- 高性能CVQKD方案分析及参数评估算法研究
- 随着量子时代的到来,人们将越来越多的目光投向了量子信息领域,众多的量子技术及应用被人们所日渐熟知,其中量子密钥分发（Quantum Key Distribution）和量子计算（Quantum computing）在近些...
- 李源
- 关键词：拒绝服务攻击
- 用于测量内孔圆柱度的装置及其使用方法
- 本发明涉及一种用于测量内孔圆柱度的装置及其使用方法，利用本发明的一种用于测量内孔圆柱度的装置对被测工件的被测内孔进行检测时，通过第一检测杆、第二检测杆和第三检测杆在不同测量截面检测得出测量值并计算出被测内孔在测量截面上的...
- 钟亦林蔡潇雨魏佳斯李源
- 文献传递
