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石金川

作品数：8 被引量：7H指数：2
供职机构：上海交通大学更多>>
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相关领域：电子电信一般工业技术电气工程理学更多>>

合作作者

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传媒

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地区

  • 7个上海市
共 7 条 记 录，以下是 1-7
杨春生
供职机构：上海交通大学
研究主题：电极 MEMS 微机电系统 压电 植入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张丛春
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统技术 磁控溅射 双稳态 热电偶 高温
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘兴刚
供职机构：上海交通大学
研究主题：互连结构 牺牲层 磁控溅射 铜互连 子层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁桂甫
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
饶瑞
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题：SR 薄膜微结构 介电性能 钛酸锶钡薄膜 射频磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
侯捷
供职机构：上海交通大学
研究主题：射频磁控溅射 介电性能 结合力 阻挡层 子层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王亚攀
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统技术 ANSYS仿真 微驱动器 双稳态 复合梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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