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石金川

作品数:8 被引量:7H指数:2
供职机构:上海交通大学更多>>
发文基金:上海-AM基金上海市科委纳米专项基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信一般工业技术电气工程理学更多>>

领域

  • 7个电子电信
  • 7个理学
  • 6个电气工程
  • 6个一般工业技术
  • 4个生物学
  • 4个化学工程
  • 4个金属学及工艺
  • 4个机械工程
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  • 4个自动化与计算...
  • 4个环境科学与工...
  • 4个医药卫生
  • 3个天文地球
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  • 3个石油与天然气...
  • 3个冶金工程
  • 3个建筑科学
  • 3个水利工程
  • 3个轻工技术与工...
  • 3个交通运输工程

主题

  • 7个介电
  • 7个溅射
  • 7个磁控
  • 7个磁控溅射
  • 6个低介电常数
  • 6个电容
  • 6个电性能
  • 6个铜互连
  • 6个热稳定
  • 6个热稳定性
  • 6个牺牲层
  • 6个介电常数
  • 6个介电性
  • 6个介电性能
  • 6个互连
  • 6个互连结构
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  • 5个沉积温度

机构

  • 7个上海交通大学
  • 2个安徽工业大学
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  • 2个北京印刷学院
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作者

  • 7个张丛春
  • 7个杨春生
  • 7个石金川
  • 6个刘兴刚
  • 6个丁桂甫
  • 5个马骏
  • 3个丁建宁
  • 3个唐逸
  • 3个侯捷
  • 3个饶瑞
  • 2个张晓华
  • 2个张晓华
  • 2个张晓华
  • 2个张晓华
  • 2个张晓华
  • 2个张晓华
  • 2个钱群
  • 1个张晓华

传媒

  • 6个半导体技术
  • 6个功能材料
  • 6个功能材料与器...
  • 6个微细加工技术
  • 5个上海交通大学...
  • 4个现代科学仪器
  • 3个分析化学
  • 3个分子科学学报
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  • 2个吉林蔬菜
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  • 2个中华精神科杂...
  • 2个商业时代
  • 2个中国数据通信
  • 2个中国科技论坛
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  • 2个中国计划生育...
  • 2个全面腐蚀控制
7 条 记 录,以下是 1-7
上海-AM基金(0511)
相关领域:电子电信 一般工业技术 电气工程 理学
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上海-AM基金
相关领域:电子电信 自动化与计算机技术 理学 一般工业技术 电气工程
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上海市科委纳米专项基金
相关领域:理学 一般工业技术 医药卫生 化学工程 电子电信
相关作品相关人物相关机构相关资助相关领域
上海市科委纳米专项基金(0552nm043)
相关领域:电子电信 理学
相关作品相关人物相关机构相关资助相关领域
国家自然科学基金
相关领域:医药卫生 理学 自动化与计算机技术 经济管理 农业科学
相关作品相关人物相关机构相关资助相关领域
国家自然科学基金(60701012)
相关领域:电子电信 化学工程 一般工业技术 电气工程 理学
相关作品相关人物相关机构相关资助相关领域
国家高技术研究发展计划
相关领域:自动化与计算机技术 农业科学 电子电信 医药卫生 理学
相关作品相关人物相关机构相关资助相关领域
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