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谢章熠

作品数:6 被引量:1H指数:1
供职机构:复旦大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:电气工程电子电信更多>>

领域

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主题

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  • 7个互连
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机构

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资助

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地区

  • 7个上海市
  • 1个贵州省
8 条 记 录,以下是 1-8
张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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卢红亮
供职机构:复旦大学
研究主题:铜互连 原子层淀积 扩散阻挡层 纳米材料 电镀铜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙清清
供职机构:复旦大学
研究主题:电极 存储器 原子层淀积 底电极 晶体管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
耿阳
供职机构:复旦大学
研究主题:扩散阻挡层 铜互连 铜 乙酰丙酮 测量过程
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王鹏飞
供职机构:复旦大学
研究主题:自对准 场效应晶体管 原子层淀积 存储器 漏电流
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
耿阳
供职机构:复旦大学
研究主题:薄膜生长 技术应用 太阳电池 原子层淀积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周鹏
供职机构:贵州大学
研究主题:存储器 百香果 石墨烯 集成电路制造 胶囊
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢立恒
供职机构:复旦大学
研究主题:电镀铜 原子层淀积 铜互连 半导体集成电路 磺酸钠
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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