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谢章熠
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6
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供职机构:
复旦大学
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合作作者
张卫
复旦大学
卢红亮
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孙清清
复旦大学
谢立恒
复旦大学
耿阳
复旦大学
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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卢红亮
供职机构:复旦大学
研究主题:铜互连 原子层淀积 扩散阻挡层 纳米材料 电镀铜
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孙清清
供职机构:复旦大学
研究主题:电极 存储器 原子层淀积 底电极 晶体管
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耿阳
供职机构:复旦大学
研究主题:扩散阻挡层 铜互连 铜 乙酰丙酮 测量过程
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王鹏飞
供职机构:复旦大学
研究主题:自对准 场效应晶体管 原子层淀积 存储器 漏电流
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耿阳
供职机构:复旦大学
研究主题:薄膜生长 技术应用 太阳电池 原子层淀积
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周鹏
供职机构:贵州大学
研究主题:存储器 百香果 石墨烯 集成电路制造 胶囊
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谢立恒
供职机构:复旦大学
研究主题:电镀铜 原子层淀积 铜互连 半导体集成电路 磺酸钠
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