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陈波

作品数：10 被引量：9H指数：2
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合作作者

领域

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  • 1个金属学及工艺
  • 1个机械工程
  • 1个电气工程
  • 1个交通运输工程
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主题

  • 5个硅片
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  • 3个旋转盘
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  • 2个电路
  • 2个电路制造
  • 2个新型装置
  • 2个真空
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机构

  • 5个沈阳芯源微电...
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资助

  • 2个国家科技重大...
  • 1个国家自然科学...
  • 1个黑龙江省高等...
  • 1个教育部人文社...

传媒

  • 2个半导体技术
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  • 1个控制与决策
  • 1个黑龙江高教研...
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  • 1个电子工业专用...
  • 1个装备制造技术

地区

  • 5个辽宁省
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谷德君
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体行业 湿法处理 晶片 晶圆 承片台
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陈焱
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：掩膜板 硅片 平板显示器 光刻胶 薄片状
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王永斌
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：薄片状 硅片 交叉污染 微电子 酸雾
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孙大伟
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：硅片加工 单片 刻蚀机 湿法刻蚀 湿法
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宗润福
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：显影 工艺过程 集成电路制造 基片 立式
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