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张霄
作品数:
4
被引量:17
H指数:2
供职机构:
西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光电检测重点实验室
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相关领域:
理学
一般工业技术
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合作作者
杭凌侠
西安工业大学光电工程学院陕西省...
周顺
西安工业大学光电工程学院陕西省...
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杭凌侠
供职机构:西安工业大学
研究主题:类金刚石薄膜 表面粗糙度 离子能量 光学薄膜 非平衡磁控溅射
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周顺
供职机构:西安工业大学
研究主题:离子束 离子束刻蚀 光学元件 平坦化 等离子体增强化学气相沉积
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