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谢立恒
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复旦大学
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相关领域:
电气工程
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合作作者
张卫
复旦大学
卢红亮
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丁士进
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孙清清
复旦大学
王鹏飞
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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卢红亮
供职机构:复旦大学
研究主题:铜互连 原子层淀积 扩散阻挡层 纳米材料 电镀铜
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丁士进
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
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孙清清
供职机构:复旦大学
研究主题:电极 存储器 原子层淀积 底电极 晶体管
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王鹏飞
供职机构:复旦大学
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耿阳
供职机构:复旦大学
研究主题:薄膜生长 技术应用 太阳电池 原子层淀积
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