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王鹏飞
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273
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复旦大学
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张卫
复旦大学信息科学与工程学院电子...
孙清清
复旦大学
丁士进
复旦大学信息科学与工程学院电子...
周鹏
复旦大学
林曦
复旦大学信息科学与工程学院微电...
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广谱的抗冠状病毒的单克隆抗体的制备和应用
本发明提供了广谱的抗冠状病毒的单克隆抗体的制备和应用,具体地,本发明公开了3株针对新冠病毒SARS‑CoV和/或SARS‑CoV‑2的受体结合域(RBD)蛋白的单克隆抗体、编码抗体和抗体片段的核酸序列及其制备方法。体外实...
王鹏飞
曹志伟
赵晓宇
裘天颐
乔芮
李嘉言
一种能与人体结合的微生物燃料电池
本发明属于再生能源技术领域,具体公开了一种微生物燃料电池。该微生物燃料电池包括一个腔体以及包含在所述腔体内依次排列的阴极、质子交换膜、阳极和多孔膜。该微生物燃料电池利用微生物对血糖的催化进行分解,在分解过程中产生二氧化碳...
刘晗
周立人
王鹏飞
张卫
文献传递
一种适用于铜互连的Ru/WHfN抗铜扩散阻挡层及其制备方法
本发明属于半导体集成电路制造技术领域,具体涉及一种适用于铜互连的Ru/WHfN抗铜扩散阻挡层及其制备方法。本发明中,抗铜扩散阻挡层采用Ru/WHfN双层结构。由于在WN中加入了Hf,大大提高了WHfN薄膜的结晶温度,使得...
丁士进
胡龙龙
杨春晓
张卫
王鹏飞
一种基于金属-绝缘体-半导体结构的量子效应器件
本发明属于量子效应器件技术领域,具体涉及一种基于金属-绝缘体-半导体(MIS)结构的量子效应器件。本发明包括:一个半导体衬底,位于半导体衬底之上的源极、漏极、隧穿绝缘体层、金属层;所述的金属层、隧穿绝缘体层与半导体衬底构...
林曦
王玮
王鹏飞
孙清清
张卫
文献传递
一种自对准的垂直式非挥发性半导体存储器件
本发明属于半导体存储器件技术领域,具体涉及一种自对准的垂直式非挥发性半导体存储器件。包括:一个半导体衬底,一个具有第一种掺杂类型的漏区,两个具有第二种掺杂类型的源区,一个用于捕获电子的堆叠栅;其中,漏区和两个源区和堆叠栅...
王鹏飞
林曦
孙清清
张卫
文献传递
一种空气隙石墨烯晶体管及其制备方法
本发明属于碳基集成电路制造技术领域,具体为一种空气隙石墨烯晶体管及其制备方法。先在硅衬底上生长栅电极、栅介质,并形成源、漏图形,再将石墨烯转移到已经形成的源、漏图形上,从而实现石墨烯与栅介质的隔离。利用空气隙将石墨烯和栅...
孙清清
江婷婷
王鹏飞
张卫
江安全
文献传递
一种低介电常数介质与铜互连的结构及其集成方法
本发明属于半导体器件技术领域,具体公开了一种低介电常数介质与铜互连的结构及其集成方法。包括:采用铜互连与气隙结合起来降低电容;用特定支撑结构来支撑铜导线以在去除介质后维持铜导线的形状。本发明的优点在于可以实现全气隙结构而...
王鹏飞
张卫
文献传递
一种在单块芯片上集成高性能器件与低功耗器件的制造方法
本发明属于半导体器件制造技术领域,具体涉及一种在单块芯片上集成碰撞电离场效应晶体管(IMOS)与隧穿场效应晶体管(TFET)的制造方法,其中通过控制第三次离子注入的剂量,不仅可以制造出相同沟道类型的TFET和与IMOS,...
臧松干
王鹏飞
张卫
低介电常数含氟氧化硅薄膜的研究
被引量:11
2000年
综述了近十年来低介电常数含氟氧化硅薄膜的研究状况 ,详细介绍了该薄膜在化学键结构、热性质、湿稳定性以及介电常数四个方面的特性 ,同时也简单介绍了薄膜的台阶覆盖度、填隙能力和漏电流特性 ,指出含氟氧化硅薄膜是一种可用于集成电路中的极富应用前景的低介电常数材料。
丁士进
张卫
王鹏飞
张剑云
刘志杰
王季陶
关键词:
低介电常数
硅薄膜
氧化硅
漏电流
覆盖度
热性质
全文增补中
一种应用于MOSFETs器件的超高速I<Sub>d</Sub>-V<Sub>g</Sub>测试方法
本发明属于金属氧化物半导体晶体管测试技术领域,具体涉及一种用于高性能MOSFET晶体管器件的I<Sub>d</Sub>-V<Sub>g</Sub>测试方法。该方法是在测试回路中用一个接近晶体管开态电阻阻值的片状电阻代替待...
王晨
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孙清清
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