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侯捷
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上海交通大学
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合作作者
张丛春
上海交通大学微纳米科学技术研究...
杨春生
上海交通大学微纳米科学技术研究...
丁桂甫
上海交通大学微纳米科学技术研究...
钱群
上海交通大学微纳米科学技术研究...
汪红
上海交通大学
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张丛春
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统技术 磁控溅射 双稳态 热电偶 高温
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杨春生
供职机构:上海交通大学
研究主题:电极 MEMS 微机电系统 压电 植入
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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钱群
供职机构:上海交通大学
研究主题:CIGS 铜铟镓硒 太阳能电池 玻璃衬底 CIGS薄膜
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严春平
供职机构:上海交通大学
研究主题:阻挡层 子层 通孔 结合力 湿法
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汪红
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
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石金川
供职机构:上海交通大学
研究主题:磁控溅射 介电性能 铁电薄膜 沉积温度 CU互连
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饶瑞
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题:SR 薄膜微结构 介电性能 钛酸锶钡薄膜 射频磁控溅射
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吴义伯
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统技术 双稳态 微机电技术 电热驱动 金属
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王娟
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统技术 电热 双稳态 燃煤烟气 5-羟色胺
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