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甘大春

作品数：22 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程理学文化科学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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  • 3个物理

地区

  • 25个四川省
共 25 条 记 录，以下是 1-10
林妩媚
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影物镜 光刻 照明系统 光焦度 像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张海波
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：照明系统 光焦度 偏振 光轴 光刻技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢廷文
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：面形 数值孔径 光刻 光焦度 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
廖志杰
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 照明系统 测量方法 透过率 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何毅
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：视场 照明系统 光焦度 补偿装置 均匀性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢亮
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：照明系统 补偿装置 均匀性 掩模 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘学峰
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：测量系统 补偿装置 波像差 光轴 剪切干涉仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗先刚
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾辛
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：面形 空间滤波器 移相 波片 绝对测量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐富超
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：面形 移相 干涉仪 光学元件 平移
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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