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王楠
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13
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H指数:1
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
胡松
中国科学院光电技术研究所
严伟
中国科学院光电技术研究所
蒋薇
四川大学
陈铭勇
中国科学院光电技术研究所
陈昌龙
中国科学院光电技术研究所
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胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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严伟
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
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蒋薇
供职机构:四川大学
研究主题:压头 磨蚀性 总成 微量润滑 光刻机
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陈铭勇
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影光刻 无掩模光刻 光刻机 投影物镜 莫尔条纹
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陈昌龙
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 光刻机 掩模板 光源系统 光学加工
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王淑蓉
供职机构:西安工业大学计算机科学与工程学院
研究主题:生物芯片 电子束曝光机 SERVER 系统设计 UML
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赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
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高洪涛
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:医疗美容 杂光 人体皮肤 原子束 皮肤
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何渝
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 数字微镜 衍射 工件台 成像
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马平
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 样片 纳米光刻
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