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夏志良
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13
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
霍宗亮
中国科学院微电子研究所
杨涛
中国科学院微电子研究所
叶甜春
中国科学院微电子研究所
王颀
中国科学院微电子研究所
许高博
中国科学院微电子研究所
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霍宗亮
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 沟道 闪存 介质层 电压
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供职机构
所获资助
研究领域
杨涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 衬底 半导体器件 化学机械平坦化 晶圆
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叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
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王颀
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 闪存 译码 电路 纠错能力
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所获资助
研究领域
许高博
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 沟道 介质层 堆叠
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