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孟祥
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供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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相关领域:
生物学
自动化与计算机技术
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合作作者
周晓峰
中国科学院上海微系统与信息技术...
车录锋
中国科学院上海微系统与信息技术...
梁盛林
中国科学院上海微系统与信息技术...
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车录锋
供职机构:浙江大学
研究主题:弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
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周晓峰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:弹性梁 电容式加速度传感器 加速度传感器 侧向冲击 过载
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
梁盛林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SIO 基底 微机电系统 MEMS工艺 硅
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