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孟祥

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域:生物学自动化与计算机技术更多>>

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车录锋
供职机构:浙江大学
研究主题:弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周晓峰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:弹性梁 电容式加速度传感器 加速度传感器 侧向冲击 过载
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁盛林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SIO 基底 微机电系统 MEMS工艺 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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