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张昊
作品数:
8
被引量:7
H指数:2
供职机构:
信息产业部电子第五研究所
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发文基金:
广东省自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
陈蒲生
华南理工大学理学院应用物理系
刘小阳
华南理工大学机械与汽车工程学院...
冯文修
华南理工大学理学院应用物理系
田小峰
华南理工大学理学院应用物理系
章晓文
华南理工大学理学院应用物理系
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陈蒲生
供职机构:华南理工大学理学院应用物理系
研究主题:SIO XN 介质膜 热氮化 PECVD法
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冯文修
供职机构:华南理工大学理学院应用物理系
研究主题:SIO XN 介质膜 二氧化硅 超薄
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刘小阳
供职机构:华南理工大学机械与汽车工程学院机械电子工程系
研究主题:XN PECVD法 SIO 介质膜 俄歇电子能谱
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田小峰
供职机构:华南理工大学理学院应用物理系
研究主题:XN SIO 俄歇电子能谱 红外光谱 硅膜
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刘剑
供职机构:华南理工大学
研究主题:活性炭 相变材料 微胶囊相变材料 吸附动力学 微胶囊
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曾绍鸿
供职机构:华南理工大学理学院应用物理系
研究主题:XN 轰击 SIO 晶体管 湿敏特性
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章晓文
供职机构:工业和信息化部电子第五研究所
研究主题:可靠性 集成电路 热载流子注入效应 热载流子效应 电迁移
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陈闽捷
供职机构:华南理工大学机械与汽车工程学院机械电子工程系
研究主题:纳米级 PECVD法 傅里叶红外光谱 俄歇电子能谱 介质膜
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