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邱小莎
作品数:
4
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
冶金工程
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合作作者
伍三忠
中国电子科技集团公司第四十八研...
孙勇
中国电子科技集团公司第四十八研...
李岳
国防科学技术大学研究生院
龙会跃
国防科学技术大学研究生院
钟新华
中国电子科技集团公司
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钟新华
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:离子注入机 系统设计 系统模型 温度控制器 控制器设计
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龙会跃
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:温度控制器 系统模型 红外辐射 快速退火 温度测量
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伍三忠
供职机构:国防科学技术大学
研究主题:大角度离子注入机 离子注入机 控制系统 离子源 强流氧离子注入机
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李岳
供职机构:国防科学技术大学研究生院
研究主题:功率密度 晶片 温度 热源
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孙勇
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:大角度离子注入机 控制系统 离子注入机 软件结构 控制器
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