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王超

作品数：6 被引量：10H指数：1
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邢朝洋
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：硅 微系统 MEMS 全硅 硅基
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐宇新
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：加速度计 电极 硅 MEMS加速度计 全硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王岩
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：硅 谐振式 闭环 闭环控制系统 闭环控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡启方
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：硅 全硅 MEMS 标度因数 MEMS器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘国文
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：MEMS加速度计 加速度计 电极 三明治 温度稳定性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙鹏
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：微系统 MEMS陀螺 刚挠结合板 抗振性 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐杰
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：应力释放 传感器 MEMS加速度计 弹性梁 过载
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
庄海涵
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：MEMS陀螺 电极 刻蚀 硅 刚挠结合板
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张玲
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：硅 谐振式 结构优化 模态分析 有限元分析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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