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邓茜

作品数:17 被引量:1H指数:1
供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
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领域

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主题

  • 12个掩模
  • 12个掩模板
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  • 8个调制
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  • 8个定焦镜头
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  • 8个照射
  • 8个直接照射
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  • 7个电机驱动器
  • 7个形貌
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机构

  • 12个中国科学院
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  • 1个电子科技大学

资助

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传媒

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地区

  • 12个四川省
12 条 记 录,以下是 1-10
周毅
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:宽光谱 调制度 数值孔径 超分辨 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓钦元
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:宽光谱 调制度 数值孔径 光刻机 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘俊伯
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 数值孔径 投影光刻机 光刻 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐燕
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨勇
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:纳米光刻 光刻机 投影光刻 光刻 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨帆
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:测量方法 微透镜阵列 传感器 成像 光栅尺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田鹏
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:测量方法 干涉图像 干涉条纹 调制度 全息
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜婧
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影光刻机 掩模 镜片 镜筒 铰链
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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