2024年12月26日
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李佳峻
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教育部
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合作作者
任丁
教育部
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林黎蔚
供职机构:四川大学
研究主题:扩散阻挡层 阻挡层 铜互连 超深 SUB
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刘波
供职机构:教育部
研究主题:影响因素 MO CU 多金属氧酸盐 两亲分子
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任丁
供职机构:教育部
研究主题:MO CU W 磁控溅射沉积 磁控溅射
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