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任丁
作品数:
3
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供职机构:
教育部
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相关领域:
一般工业技术
电子电信
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合作作者
林黎蔚
教育部
刘波
教育部
李佳峻
教育部
邹宇
教育部
张彦坡
教育部
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磁控
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磁控溅射
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磁控溅射沉积
机构
3篇
教育部
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任丁
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刘波
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林黎蔚
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植超虎
1篇
黄宁康
1篇
展长勇
1篇
蒋稳
1篇
伍建春
1篇
张彦坡
1篇
邹宇
1篇
李佳峻
年份
3篇
2013
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多孔硅表面磁控溅射沉积钛膜的形貌研究
采用磁控溅射的方法来分别在随机刻蚀的多孔硅和孔径2.5μm、12μm、15μm的多孔硅阵列上沉积钛膜。分别讨论了加偏压和不加偏压条件下沉积的钛膜的形貌,及多孔硅的刻蚀形貌对钛膜的影响。研究表明:未加偏压时,钛膜在多孔硅阵...
展长勇
蒋稳
邹宇
任丁
伍建春
黄宁康
关键词:
多孔硅
磁控溅射
偏压
文献传递
SRIM模拟W(Mo)/Cu纳米复合薄膜He+离子辐照损伤
用磁控溅射技术制备不同调幅波长(L)的W(Mo)/Cu纳米多层膜,所制膜系在60 KeV氦离子(He+)辐照条件下注入不同剂量:0、1×1017He+/cm2、5×1017He+/cm2。利用SRIM软件模拟上述不同调幅...
林黎蔚
李佳峻
刘波
任丁
关键词:
SRIM
辐照损伤
文献传递
调幅W(Mo)/Cu纳米多层膜结构He+注入响应行为初探
用磁控溅射技术制备不同调幅波长(L)的W(Mo)/Cu纳米多层膜,所制膜系在60 keV氦离子(He+)辐照条件下注入不同剂量:0、1×1017 He+/cm2、5×1017He+/cm2。用X射线衍射仪(XRD)和扫描...
刘波
植超虎
张彦坡
任丁
林黎蔚
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