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曹永辉
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杭州士兰集成电路有限公司
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孙福河
杭州士兰集成电路有限公司
王勇
杭州电子科技大学
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孙福河
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:差分式 MEMS器件 可变电容器 牺牲层 电容器
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王勇
供职机构:杭州电子科技大学
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