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刘福民

作品数：106 被引量：4H指数：1
供职机构：北京航天控制仪器研究所更多>>
发文基金：中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程化学工程更多>>

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共 23 条 记 录，以下是 1-10
刘国文
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：MEMS加速度计 加速度计 电极 三明治 温度稳定性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘宇
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：键合 晶圆 三明治 加速度计 MEMS加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁德春
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：键合 刻蚀 晶圆 刻蚀技术 芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐宇新
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：加速度计 电极 硅 MEMS加速度计 全硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王学锋
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：气室 原子 光纤 陀螺仪 磁力仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
庄海涵
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：MEMS陀螺 电极 刻蚀 硅 刚挠结合板
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐杰
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：应力释放 传感器 MEMS加速度计 弹性梁 过载
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢朝洋
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：硅 微系统 MEMS 全硅 硅基
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李新坤
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：气室 原子 碱金属 碱金属原子 脉冲激光沉积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡启方
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：硅 全硅 MEMS 标度因数 MEMS器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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