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吴迪

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 3个自动化与计算...

主题

  • 3个底片
  • 3个圆片
  • 3个重掺杂
  • 3个外延膜
  • 3个膜厚
  • 3个膜厚监控
  • 3个晶圆
  • 3个晶圆片
  • 3个高温
  • 3个高温处理
  • 1个氧化层
  • 1个离子
  • 1个离子注入
  • 1个光刻
  • 1个光刻胶
  • 1个硅片
  • 1个硅片表面
  • 1个剥落
  • 1个超薄
  • 1个超薄氧化

机构

  • 3个中国航天科技...

地区

  • 3个陕西省
共 3 条 记 录，以下是 1-3
汪小军
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：超薄氧化层 剥落 高温处理 硅片表面 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄鹤
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：高温处理 晶圆片 膜厚监控 膜厚 外延膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
折宇
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：高温处理 晶圆片 膜厚监控 膜厚 外延膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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