2024年11月26日
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冯翠月
作品数:
5
被引量:6
H指数:2
供职机构:
河北工业大学电子信息工程学院
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发文基金:
国家中长期科技发展规划重大专项
河北省教育厅科研基金
河北省自然科学基金
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学电子信息工程学院
张文倩
河北工业大学电子信息工程学院
马欣
河北工业大学电子信息工程学院
牛新环
河北工业大学电子信息工程学院
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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所获资助
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张文倩
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:CMP 化学机械抛光 去除速率 铝栅 表面粗糙度
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
马欣
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:碱性抛光液 化学机械抛光 CMP 铝栅 H2O2
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
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