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周毅

作品数：53 被引量：21H指数：3
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 21个机械工程
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  • 2个核科学技术
  • 2个自然科学总论
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主题

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  • 22个光刻
  • 22个光学
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  • 9个调焦
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  • 7个电机驱动器

机构

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资助

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传媒

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  • 5个四川大学学报...
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地区

  • 22个四川省
  • 1个河南省
共 23 条 记 录，以下是 1-10
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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邓钦元
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：宽光谱 调制度 数值孔径 光刻机 光刻
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刘俊伯
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 数值孔径 投影光刻机 光刻 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐燕
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓茜
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：宽光谱 光场分布 自成像 干涉图 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨勇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：纳米光刻 光刻机 投影光刻 光刻 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田鹏
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：测量方法 干涉图像 干涉条纹 调制度 全息
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李凡星
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：成像 测量方法 干涉条纹 工件台 调制度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨帆
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：测量方法 微透镜阵列 传感器 成像 光栅尺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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