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刘玉贵
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供职机构:
中国电子科技集团第十三研究所
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电子电信
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机械工程
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合作作者
罗四维
中国电子科技集团第十三研究所
王维军
中国电子科技集团第十三研究所
丁奎章
中国电子科技集团第十三研究所
郭红雨
中国电子科技集团第十三研究所
冯志红
中国电子科技集团第十三研究所
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罗四维
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:T型栅 电子束光刻 微电子 电子束曝光系统 ICP
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王维军
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:移相掩模 T形栅 T型栅 光刻胶 位相差
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冯志红
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:肖特基二极管 氧化镓 场效应晶体管 金刚石 衬底
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郭红雨
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:氧化镓 场效应晶体管 沟道 电极 半导体制造技术
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顾国栋
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:倍频器 太赫兹 半导体器件 肖特基二极管 氮化镓
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丁奎章
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:半导体器件 自对准 T形栅 T型栅 腐蚀速率
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韩婷婷
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:氧化镓 肖特基二极管 紫外探测器 淀积 阳极
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敦少博
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:氧化镓 沟道 势垒 微电子器件 电子束曝光
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吕元杰
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:氧化镓 电极 场效应晶体管 肖特基二极管 沟道
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罗蓉
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:硅 MEMS 深刻蚀 玻璃衬底 SOI材料
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