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陈亚
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5
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供职机构:
北京七星华创电子股份有限公司
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电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
徐冬
北京七星华创电子股份有限公司
田博
北京七星华创电子股份有限公司
王艾
北京七星华创电子股份有限公司
张海轮
北京七星华创电子股份有限公司
程朝阳
北京七星华创电子股份有限公司
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徐冬
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 承载器 半导体 异常状态 半导体设备
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王艾
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体 硅片 立式炉 加热器 温度补偿方法
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田博
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:立式炉 补偿方法 半导体 功率补偿 计算功率
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所获资助
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张海轮
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体设备 氧化炉 控制方法 立式 硅片
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程朝阳
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 氧化炉 立式 扩散炉 立式炉
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赵燕平
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:立式 炉体 立式炉 半导体 热处理炉
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董金卫
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:炉体 立式 氧化炉 热偶 半导体
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孙少东
供职机构:淮安信息职业技术学院
研究主题:炉体 半导体 立式 半导体工艺设备 立式炉
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