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徐冬

作品数：78 被引量：4H指数：1
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 73篇专利
  • 3篇期刊文章
  • 1篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 12篇自动化与计算...
  • 4篇电子电信
  • 2篇机械工程
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 33篇硅片
  • 27篇半导体
  • 17篇承载器
  • 14篇异常状态
  • 14篇感器
  • 14篇传感
  • 14篇传感器
  • 12篇半导体设备
  • 11篇机械手
  • 9篇图像
  • 9篇温度控制
  • 8篇温度
  • 8篇补偿方法
  • 7篇电偶
  • 7篇立式炉
  • 6篇平面图像
  • 6篇热电偶
  • 6篇温度补偿
  • 6篇温度补偿方法
  • 6篇物料

机构

  • 78篇北京七星华创...

作者

  • 78篇徐冬
  • 24篇王艾
  • 10篇张乾
  • 7篇董金卫
  • 6篇孙少东
  • 6篇刘建涛
  • 6篇王春洪
  • 6篇钟结实
  • 6篇田博
  • 5篇陈亚
  • 5篇王凯
  • 3篇刘慧
  • 3篇宋新丰
  • 2篇赵燕平
  • 2篇周厉颖
  • 2篇冯军
  • 2篇朱翠清
  • 2篇张海轮
  • 2篇程朝阳
  • 1篇刘晨曦

传媒

  • 3篇电子工业专用...

年份

  • 5篇2018
  • 13篇2017
  • 16篇2016
  • 18篇2015
  • 15篇2014
  • 3篇2013
  • 3篇2012
  • 2篇2011
  • 3篇2010
共 78 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
半导体热处理设备工艺门状态检测装置及检测方法
本发明公开了一种半导体热处理设备工艺门状态的检测装置，包括上测距传感器和检测单元。所述上测距传感器至少为三个，设于所述工艺门侧面位于所述工艺门上表面下方的同一高度、沿工艺门圆周分布，用于当所述工艺门上升至与所述半导体热处...
徐冬刘慧
用于热处理的快速升降温炉体
本发明公开了一种快速升降温炉体，其包括包围工艺管的筒状的保温层，配置于所述保温层内周面的加热元件，以及冷却单元。其中冷却单元包括：位于所述保温层中的用于流通冷却气体的一个螺旋状风道；以及形成于所述保温层内周面、与所述螺旋...
孙少东徐冬周厉颖董金卫
文献传递
基于超声的硅片分布状态识别方法及装置
本发明提供的一种基于超声的半导体设备承载区域的硅片分布状态识别方法及装置，其在两个阶段即硅片传送片完成后和取片前，通过首先位于硅片组上方的第一和第二超声波传感器，其工作在自接收模式，执行硅片凸片的异常状态极限位置预扫描指...
徐冬慕晓航
文献传递
一种基于串级控制的微环境压力调度方法
一种基于串级控制的微环境压力调度方法包括根据物料供应环境系统特点建立传递函数反应模型；引入参考输入偏差积分系统，建立增广状态状态方程；获取该环境系统系统状态反馈调节控制律；通过物料供应系统的闭环特征方程式求得控制律参数；...
刘建涛钟结实王春洪徐冬
文献传递
硅片分布状态图像组合检测方法及装置
一种硅片分布状态图像组合检测方法以及装置，该装置包括在位于硅片组上方设置图像传感单元，以及设置在机械手上的光电扫描单元或超声扫描单元；且光电扫描单元或超声扫描单元通过机械手驱动水平或垂直定位；在第一检测阶段的图像采集模式...
徐冬
一种组合式半导体热处理设备的硅片承载区扫描方法及装置
一种组合式半导体热处理设备的硅片承载区扫描的方法及装置，其在位于硅片承载器圆周侧边的机械手上U形端部的相对位置，设置有两个工作在自接收和/或互接收模式的光电传感器/超声波传感器，执行硅片凸片的异常状态预扫描和循环扫描指令...
徐冬慕晓航
文献传递
立式炉冷却控制系统及方法
本发明公开了一种立式炉冷却控制系统及方法，涉及半导体热反应工艺设备温度控制技术领域。该系统包括：感温模块，用于感测立式炉反应室上测温点的温度，并将感测到的温度电压信号发送至信号处理模块；信号处理模块，将温度电压信号转换为...
徐冬董金卫赵燕平王艾田博
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半导体设备承载区域的硅片分布状态组合检测方法及装置
一种半导体设备承载区域的硅片分布状态组合检测方法及装置，在位于硅片组上方的承载器端盖内表面，设置有与端盖中心对称的两条平行滑轨，在轨道的相对位置设置有第一和第二光电传感器组/超声波传感器组；在位于硅片承载器圆周侧边的机械...
徐冬王凯
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300mm立式炉温度控制系统研制被引量：1
2010年
针对300mm立式炉设备,设计、实现了一套温度控制硬件系统。硬件系统由信号采集模块、PLC模块、工控机、控制信号输出模块等组成。同时,根据工艺特性,设计了一套完整的温度控制软件系统,实现了热偶信号的采集补偿、自动温区分布、PID参数自整定、轨迹规划、斜变升温、工艺恒温等一系列系统功能。温度控制及工艺实验结果表明,该温度控制系统在可靠性、稳定性、精度等方面能够满足氧化工艺的需求,现已成功应用于300mm立式氧化炉设备。
徐冬程朝阳陈亚张海轮
关键词：立式炉温度控制PID参数自整定
热处理设备的温度补偿方法、温度控制方法及系统
本发明公开了一种温度补偿方法，包括在硅片保持件上安装多个第二温度传感器；将硅片保持件搬入处理容器内，各第二温度传感器和处理容器内的多个第一温度传感器一一对应；控制加热器以第二温度传感器为控温对象调整处理容器内的温度，使第...
王艾徐冬张乾
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